半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
建设项目背景图案
该光电器件企业主坐落于苏南形城市,其主要工作844英寸和1244英寸晶圆,日废气废排水量约2000吨。原因工作流程复杂的,废水下有多种类难吸附设计物和血本属正离子,传统与现代加工技术不好足够逐渐标准的废气标准。
焦化废水组成成分及来源地
废污水最主要的来历于3个关键环节:晶圆切开废污水包含许多硅粉和切开液残留物;设计化学机磨光废污水饱含电解质溶液硅和精磨粒子;刻蚀进行维护清洁废污水包含氟化物、铜正离子等血本属;光刻施工工艺废污水则包含光阻剂等设计污染源物。水体优点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物酸度高(200-400mg/L)、漂浮物多且包含进样器血本属。
除理工艺技术标准流程
进行"物理化学预加工+血生化加工+高度加工"的搭档生产工艺:
调高池稳定饮用水质发电量
混疑奠定弄掉悬停物和橡胶胶体部分化学物质
检查是否放置法主要工作氟化物,污泥脱水钙盐导致氟化钙放置
蛋白质水解酸性反应池提升 生活污水可生化模式性
沾染氧化的池光降解可挥发污染源物
吸咐性炭吸咐塔实行强度补救
膜脱离控制系统确保安全出水出水地表水安稳
对於含铜工业废水一个人设立亚铁离子更换系统,回收利用有附加值的废金属铜。
结果效率
楼盘建起后开机运行维持,出液COD<50mg/L,氟化物质量溶液浓度<5mg/L,铜亚铁离子质量溶液浓度<0.3mg/L,一项指標均相对比较各国《电子为了满足电子时代发展的需求,工业化的水水固体废弃物进行尾气进行排放出标准规范》(GB 39731-2020)。历年可可以减少COD进行进行排放出约300吨,氟化物进行进行排放出约50吨,收废铜合金约2吨,进行了坏境高经济收益与划算高经济收益的诚信。