广州某光电器件集成ic生产厂，晶圆生产加工环节中生成含硅、氟的特别焦化废水工作方式方法，设定工作总量1200吨/日。焦化废水工作方式方法化学成分有难度，所含微米级硅粒子及氢佛酸，传统文化工作方式方法不可达到标准。 废水处理的成分及种类 关键环境破坏物 ：固体硅（100-500nm比表面积）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 来自制作工艺 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP检查是否物理拋光污水（40%）、机 冲干净水（15%） 补救生产工艺工艺 信息化利用"生物凝固+重型膜拆分"技巧行车路线： 钙盐沉定 ：污泥脱水氯化钙洗去氟阳离子（自动生成CaF2沉淀自己） 二沉池想法 ：混合斜板沉淀池剂确保溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜挪作他用微细颗料 反渗入装置 ：脱盐率>98%，回收公司率75% 蒸馏结晶体 ：浓水段确保氟化物零进行排放 决定性视觉效果 氟化物浓度值：<8mg/L（不高于的国家特一级准则10mg/L） 硅含磷量：<5mg/L 水网络资源中水回用率：70%用以保压塔保湿补水 垃圾缩减：减压蒸馏残留量较传统艺术技艺缩减60%