新项目历史背景 上海市某半导厂分娩操作过程中的同时造成高硅废污水（SiO₂ 500-800mg/L）和含氟废污水（F⁻ 200-300mg/L）。四种废污水混合法后容易转变成氟硅酸氢氧化铁，传统化学积淀法难于稳固考核规定。项目流程规定搜集避开硅和氟（排放口规定：SiO₂≤30mg/L，F⁻≤10mg/L）。 电镀废水组成成分及从何而来 最主要的化学物质 ：硅酸氢钠（NaHSiO₃）、氟化铵（NH₄F）、异丙醇 源于 ：晶圆刻蚀化工焦化废水、CMP粉磨化工焦化废水、装备冲干净水 治理 生产工艺过程 分工协作沉积关键时期 ： 二级不起作用池 ： 1级污泥脱水Ca(OH)₂出现CaF₂和CaSiO₃凝固； 第三级添加PAC（聚合物氯化铝）加强水解酸化池。 固液隔离过程 ： 反渗透装置系统的 ：主要包括0.02μm孔经膜零件截流悬浊液硅和微细结晶物。 进一步脱氟的阶段 ： 化学活化防氧化铝粉树脂吸附塔 ：残留氟铝离子降解除掉。 终结结果 满水后SiO₂≤25mg/L，F⁻≤8mg/L，远更为重要部委原则。 超滤膜体系通量稳定可靠在15LMH，无机化学除垢的周期延伸至60天。 污泥处理经压滤后含水分率＜65%，可按一样固废处理处治。