该晶圆制造出厂最靠近西北城市,其主要生育8英尺半导体器件晶圆,单日化工废水废气排缩量上涨约800吨。主要是因为生育过程中中安全使用非常多氢氧化钠来晶圆蚀刻,会造成化工废水内氟化物氧化还原电位可高达200-300mg/L,远超发达国家废气废气标淮(10mg/L以上)。
生活污水材质及因素
废污水具体来六个部分:
晶圆蚀刻生产工艺
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸铵及极富高价属
有机化学机械设备制造打蜡 (CMP)生活污水
:含奈米级硅颗粒状、巧妙络合剂
机器家电清洗污废水
:含异丙醇、氟化物等生物碳物
办理方法程序
选用"电学石雕文化沉淀出的+水泥混凝土石雕文化沉淀出的+层次过滤体系"3级补救体系:
4级进行处理
:加药系统氯化钙和氢防氧化钙,行成氟化钙沉积,氟化物去掉率达85%
二次加工处理
:增多PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),出掉溶液态环保问题物
三级视频外理
:确认多媒介油烟净化器器和活性氧炭过滤,出水出水氟化物浓硫酸浓度不稳在8mg/L下例
关键性机械主要包括:pH整体自动自动调节整体、斜管发展池、板框压滤机厂家(厌氧颗粒污泥甩干)。
决定性效用
新项目使用四年数据监测统计数据统计体现:
氟化物总值盐浓度:7.2mg/L(压低部委原则)
COD清掉率:92%
工业废水含水分率:≤65%
年利用氟化钙副企业产品约150吨,推动市场化利用