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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

工程背景图案 该半导体技术制造技术产业园规划座落在华北各地,总融资已超200亿美金,主耍种植125英寸晶圆和最新打包封装產品。产业园规划日释放废容量约5000吨,含盖不同工艺技术废渣,补救高难度大。创业项目耍求废渣补救后提高《智能电子产业水污染问题物释放条件》(GB 39731-2020)特殊释放卫生防护距离,组成部分使用率不少于60%。 化工废水材料及來源 含氟废水处理:包括来自于晶圆蚀刻、清洁工作繁琐流程,氟正离子有机废气浓度高达mg200-500mg/L,pH值冲击大 设计废污水:光刻、定影、去胶等繁琐流程行成,COD浓度值300-800mg/L,具有刺激性异丙醇、甲苯等设计溶液 含铜废渣:真空电镀、化学上的机cnc精密机械加工(CMP)工作诞生,铜阴阳离子氧化还原电位50-150mg/L 碱酸污水:系统洁净、废气排放洗衣等方式制造,pH值在2-12两者之间振幅 机磨废渣:CMP工作有,带有纳米级级二脱色硅颗粒状 治理工艺设计程序 适用"分类整理搜集+分质治理 +广度洁净"的整合工序: 含氟废气治理线 : 两极物理发展自己:先污泥脱水氯化钙控制pH至6-7,再加上入PAC和PAM斜板发展池发展自己 气体吸附性硫化铝气体吸附:抓实氟阴离子氧浓度降落到5mg/L这 污泥干化经板框压滤后委托代为的专业妥善处理 生产生活污水加工处理线 : 微电解法法预进行处理:铁碳微电解法法溶解大氧分子有机肥料物 UASB厌氧发酵的物反应器:HRT=24h,COD祛除率>60% MBR膜生物制品发应器:所采用PVDF双层弹性纤维膜,通量15LMH 含铜废气处里线 : 化工析出:加药系统NaOH控制pH至9-10,导致Cu(OH)2析出 化合物互相互换:二级硅胶粘合剂互相互换以保证铜化合物<0.3mg/L 电解法设备二手二手回收:个部分污废水 经电解法设备二手二手回收塑料铜 综合性加工设备 : 调接池:均匀饮用水质供水量,设曝气池鑫霖环保 混泥土发展:加药挽回二沉池剂弄掉固体有机化合物 二氧化反应碳离子液体氧化反应:化学光降解难化学光降解高分子化合物物 反渗透膜到软件系统:脱盐率>98%,产水回收于生产的线 污水治理系统性 : 生活污水溶缩池:液体氧浓度从1%提升自己至3% 离心力脱水过滤:融入PAM护理,泥饼水分含量率<75% 地温干化:组成部分污泥干化干化至含水分率30%一下 结果是视觉效果 业务竣工使用后,一项的指标平稳及格:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜阴离子<0.3mg/L、pH 6-9。回收利用水的饮用水的质到达GB/T 19923-2005化工业用水的标准单位,回收利用率65%,常年节电生鲜水使用量约1二十万吨。污水导致量极大减少40%,危害性固体废物处理生产成本削减35%。系统性自然化方面高,再线检测数据库与的环保部实时监控登录。

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