半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
好项目时代背景
该行业为全球最大领跑的光电器件首测行业,处于珠角形东南部,通常进行舒适基带芯片的小学划片和封口测式。因地方环保节能的要求严苛,行业而定推行废水处里方法零直接排放建设项目。建设项目于2020年重启,202一年6月开工建设建厂,处里市场规模为200吨/日,总项目投资约200070万。
污废水 成份及由来
此项依据小学划片废水处理方法兼有以內基本特征:
高浓硫酸氨水浓度氟化物,主耍来源于晶圆切割工作后的拆洗加工过程,氟化合物浓硫酸氨水浓度高达独角兽150-200mg/L
富含奈米级硅粉颗粒肥料,颗粒直径多在100-500nm内
有机质功率因数补偿较高,COD在500-800mg/L
内含进样器血本属如铅、镉等
电阻率高,普通在2000-3000μS/cm
处里技术流量
为推动零排卸指标,技艺定制突出顾虑生产废水的分类整理和资源共享收购 :
废水处理工艺划分分类整理设备
:将含氟工业废渣与另外工业废渣分开用自身
化学反应积淀除氟
:主要采用二级钙盐积淀法,听取高效化积淀池
高端硫化整理
:臭氧杀菌促使硫化溶解难整理有机会物
膜精浓模式
:用到DTRO碟管式反渗透设备工作会更,浓缩液7的倍数为10倍
多效蒸发心得
:MVR机械装备水蒸汽再解压缩蒸发掉器治理 浓水
常温、干燥整体
:将析出盐干躁后有所作为工業副车辆外售
处理治疗效果
平台自动运行数据资料展示:
氟化物清理率>99.9%,出水量氟阴离子<1mg/L
COD总剔除率>98%,冒水COD<20mg/L
自然资源共享回笼率>95%,仅生成一些凝结盐
第二年回收塑料利用高物超所值回收水约2万吨
析出盐色度高达工业化的级标准规范,满足信息化借助
该项目不仅能保持了污废水 零尾气排放标准,还在信息利用创设了约80十万/年的上限效率。