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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

建设项目的背景 该半导体器件行业行业地属长半圆城市,其主要产生8厘米和12厘米晶圆,日摆放废容量约2000吨。伴随半导体器件行业产生新工艺非常复杂,工业废污水成份五花八门且包含的多难挥发类物质,行业原来的进行加工场地设施是没办法充分考虑急剧要严格的环境保护摆放条件,故成本1000万元新投入专注工业废污水进行加工站。 废液化学成分及来源地 该制造业企业污水核心主要包括几类: 含氟污水:来原于晶圆蚀刻、进行维护清洁步骤,氟铝离子溶液浓度达2000mg/L; 有机的酸污废水 :来自于光刻、显影液等工艺设备,所含异丙醇、二甲苯等有机的酸石油醚,COD值在5000mg/L左右侧; 酸碱性污水:带来于洗掉和从表面除理过程,pH值波动性大; 含铜废液:发源电镀工艺和金属制化工环保艺,铜铝离子浓硫酸浓度约150mg/L。 除理生产技术操作流程 对于多种本质的电镀废水,使用"种类获取+分质办理+后部纵深办理"的组合式制作工艺: 含氟废水治理 治理 线: 二级化学上的沉垫:先污泥脱水氯化钙缓解pH至6-7,加个入PAC和PAM二沉池沉垫; 催化活性腐蚀铝吸收:抓好氟化合物氧化还原电位高于8mg/L下面。 有机物污废水 外理线: 微电解设备表现:铁碳塑料填料床预办理延长废气可血生化性; UASB厌氧不良生物反应器不良生物反应器:HRT=24h,COD弄掉率65%; MBR膜生物制品响应器:用到PVDF空心仟维膜,留水COD<50mg/L。 耐酸碱电镀废水采和操作系统: 定时pH上下调整:进行优酷云探测仪调节加酸加碱量; 二沉池放置:清理与产生的浮窗物。 含铜废水加工处理加工处理: 普通机械沉定:加药系统NaOH设定pH至9-10,达成氢腐蚀铜沉定; 亚铁阴阳离子对调:提高认识铜亚铁阴阳离子浓硫酸浓度<0.3mg/L。 高度解决单元尺寸: 嗅氧催化反应氧化反应:继续一个脚印化学降解难拆解无机物; 生物炭过滤器:取除饱和度和进样器污染问题物; 紫外光线消毒剂:抓好出液生物学技术指标英文符合标准。 决定疗效 品牌运营后,出液水体安全稳定达到《手机工业品水污染破坏物减排要》(GB 39731-2020)格外减排限制值要,在这其中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。次年可避免氟化物减排约120吨,COD减排约400吨,回收处理水资源保护共享约20万吨。体统自动的化层度高,运营生产成本管理在8.5元/吨水左右两边。

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