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某中小型半导体设备生育的加工制造业客户是在长三边形沿海地区,关键生育的晶圆和基带芯片。在生育的过程中 中,晶圆激光切割和cnc精密机械加工环节呈现过多精磨液电镀废水,每日污染源物量约50吨。在电镀废水内有效高密度透明桌面物、塑料阴阳离子及生物碳使用剂,间接污染源物会对区域形成造成污染源,制造业客户急需用钱建设规划非常专业处置场地设施。
生产废水组成及源
精磨液生产废水最主要的的源头于晶圆生产加工中的生物机械设备打磨(CMP)工艺技术,最主要的的环境破坏物具有:
漂浮顆粒物
:二防被氧化硅、防被氧化铝粉等考虑粉末,孔径在0.1-1μm,浓度值更是高达2000mg/L。
五金化合物
:铜、铁、锌等,出自拋光垫刹车盘磨损及晶圆表面上金属件层,铜亚铁离子渗透压约50mg/L。
无机增长剂
:还有外表面可溶性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强偏碱性成分
:pH值起伏较大大,普通在2-11中。
补救的工艺具体步骤
采取废渣特征,进行“预处里+生物化+深层处里”女子组合加工制作工艺 :
调高池
:教育均衡发展水体质量发电量,增加碱酸转换pH至碱性。
水泥混凝土沉垫
:添加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),弄掉自动隐藏物和电解质溶液,沉降后SS弄掉率>90%。
崔化空气氧化
:利用Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)生物降解生产含有剂,COD取除率达60%。
动物除理
:MBR膜生物体现象器进每一步生物降解多余有机肥料物,COD降到100mg/L以上。
化合物交互
:专业化硅橡胶吸附物铜亚铁离子,水流铜含量的<0.5mg/L。
砂滤+催化活性炭吸附滤过
:提高认识出液清新,做到《工业废水综合性摆放规则的》(GB8978-1996)七级规则的。
终于功效
系统的自动运行比较稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
循环率达40%,超过不合格摆放,年减轻化工废水摆放1.20万吨。
加工处理直接费用约15元/吨,远少于行业中差不多。